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3. 鍺矽酸鹽是否會取代氮化矽,成為可見光 PIC 的主流材料?

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鍺矽酸鹽憑藉低熔點特性,能透過回流製程達到原子級平滑度,在可見光波段的損耗表現已顯著優於氮化矽,為高精密量測與量子運算開闢新路。然而,氮化矽具備極佳的 CMOS 製程相容性與低成本優勢,目前仍是產業主流。短期內,鍺矽酸鹽將在需要極低損耗的特定高階應用(如原子感測器)中展露頭角,但要全面取代氮化矽,仍需視其在大規模量產中的穩定性與整合成本而定。產業趨勢顯示,兩者未來更可能走向技術互補,而非單純的替代關係。

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參考資料